光刻机被誉为半导体产业皇冠上的明珠。在芯片制造中,每颗芯片都需要经过光刻机的雕刻,且精度要达到头发丝的千分之一。因此作为核心的机器,光刻机对于一个国家的芯片发展来说必不可少。但目前,我国却并没有掌握光刻机制造技术。

由于我国半导体产业起步较晚,同时光刻机研发和制造难度又极大,因此我国始终无法推开光刻机的大门。截至当前,光刻机市场主要玩家仍然只有荷兰、美国和日本,发展基本被其所垄断。在此背景下, 一直以来我国光刻机都依靠国外引进。

例如在2020年,我国就向ASML订购了数台EUV光刻机,但直到现在也还未能发货。背后的原因,一方面是受到年初疫情的影响,另一方面是遭到了美国的阻挠。整个2020年,美国不仅对我国相关芯片企业发起制裁,同时还切断了我国芯片供应链。

不过,近日我国一家叫晶瑞股份的公司终于传来好消息!耗时4个月,1月20日晶瑞股份从韩国代理商那里斥资7000余万人民币购得了一台二手ASML浸没式光刻机,解了当前我国芯片制造的燃眉之急。其预计,这台光刻机将助力国产12英寸芯片。

这一消息虽然令人振奋和欣喜,但依然给我们敲响了警钟。因为我们可以看到,一来从国外买进的光刻机是如此昂贵,哪怕是别人用剩的;二来购买光刻机是如此麻烦,耗时费钱不说,还会受到外部环境的阻挠与冲击;三来,购得的光刻机也并不是很先进。

基于此,我国要想实现芯片自力更生和独立自主,还是需要推动国产光刻机等关键技术与核心零部件的研发突破。这其中,除了要加速本土企业入局之外,也离不开国家队的帮助。去年9月份,中科院就曾表示将把美国卡脖子清单变成我国科研任务清单。

未来,在政企研三力合一的情况下,期待我国在芯片制造上能取得突破。

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